主要规格
●最佳曝光线:1.5μm
●对准精度:1μm
●固定掩膜和基板的方式:真空吸附
●微定位器最大位移
范围X,Y:±4mm
●微定位仪扫描范围
X,Y:±20mm
●最大摆角
轴承平台:90°
最大提升高度:5mm
●平行均匀光源的出射光束直径:≥115mm
光的非平行性:≤± 6°
光的不均匀性:≤± 5%
200瓦汞灯启动
直流,风扇冷却
●双目射野显微镜
(或CCD显微显示系统)放大倍数:
30×-375×
双物镜距离:
20-69毫米
●功率:
压缩的空气:≥3.5kg
电压:AC220V / 50Hz
功率:1000W
●外形尺寸:
918×680×1300(L×W×H)
●重量:160kg
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真空吸附框架

X,Y扫描结构
气浮调平机构
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