主要规格：

模型

有效容积
（毫米）

最高温度
(℃)

温度
均匀度
(℃)

最终
真空度（Pa）

功率
（千瓦）

处理
布局

P431-2

Φ1000×1000

200

±5

5×10-5

8

单头

P431-3

Φ300×1000

600

±15

1.3×10-7

15

单头

P431-4

Φ360×1000

600

±15

9×10-8

15

双头

P431-5

Φ460×500

600

±5

3×10-7

12

单头

P431-6

Φ500×1200

600

±15

9×10-8

15

双头

P431-7

Φ680×700

600

±15

1×10-5

20

四头

P431-8

Φ700×700

600

±5

1×10-5

20

单头

P431-9

Φ500×1200

650

±10

5×10-6

15

单头

P431-10

Φ850×1100

680

±15

5×10-6

22

六头

P431-11

Φ550×1000

600

±10

8×10^-2

20

两工位

P431-12

Φ800×1400

600

±15

7×10^-8

70

两工位

P431-13

Φ1000×2400

600

±25

7×10^-8

180

三工位