聯繫我們   Contact
搜索   Search

H94-37型(LED)6″雙面光刻機

更新:2017-1-9 16:07:16      点击:
  • 品牌:   SVC
  • 型號:   H94-37型(LED)
  • 市場價:    元
  • 優惠價:    元 (已有 0 人購買)
  • 在线订购   加入收藏
產品介紹

  


主要用途 
     主要用於集成電路、半導體元器件、光電子器件、光學器件研製和
生產。由於本機找平機構先進,找平力小,使本機不僅適合硅片、玻璃片、陶瓷片的m8体育,而且也適合易碎片如砷化鉀、磷化銦等基片的m8体育。


工作方式

     本機採用雙面對準單面m8体育方式。既可以對基片的正面進行對準m8体育,又可對基片的反面相對於正面對準m8体育。

主要構成
     主要由高精度對準工作臺、雙目分離視場立式顯微鏡、雙目分離視場臥式顯微鏡、數字式攝像頭、計算機成象記憶系統、多點光源(蠅眼)m8体育頭、PLC控制系統、氣動系統、真空系統、直聯式真空泵、二級防震工作臺和附件箱等組成。

 


主要功能特點

1.m8体育類型:正反面對準單面m8体育;

2.m8体育面積:160×160mm;★

3.m8体育照度不均勻性:≤3%;★

4.m8体育強度:≥30mw/cm2可調;★

5.紫外光束角:≤3˚;★

6.紫外光中心波長:365nm、404nm、435nm可選:

7.紫外光源壽命:≥2萬小時;

8.m8体育分辨率:1μm;

9.m8体育模式:可選擇一次m8体育或套刻m8体育;

10.顯微鏡掃描範圍:X:±40mm   Y:±30mm;★

11.對準範圍:X、Y粗調±3mm,細調±0.3mm;Q粗調±15°,細調±3°;★

12.套刻精度:1μm;★

13.分離量;0~50μm可調;★

14.接觸-分離漂移:≤1μm;★

15.m8体育方式:密着m8体育,可實現硬接觸、軟接觸和微力接觸m8体育;

16.找平方式:三點式自動找平;★

17.顯微系統:

1)正面對準採用雙視場CCD立式顯微鏡,總放大倍數45X~300X(物鏡放大倍數1.1X~7.5X連續變倍),雙物鏡可調距離11mm~100mm。掃描範圍:X±40mm ,Y±35mm; 

2)反面對準採用雙視場CCD臥式顯微鏡:總放大倍數60X、120X兩種(物鏡放大倍數2X、4X兩種),雙物鏡可調距離22mm~70mm

3)兩種顯微鏡共用一套計算機圖像處理系統;

18.掩模版尺寸:3″×3″、4″×4″、5″×5″、6″×6″、7″×7″;★

19.基片尺寸:φ2、φ3、φ4、φ5、φ6;★

20.基片厚度:≤5 mm;

21.m8体育定時:0~999.9秒可調;

22.對準方式:切斯曼對準機構。★

23.m8体育頭轉位:氣動;

24. 電源:單相AC220V  50HZ ,功耗≤1KW

25.潔淨空氣壓力:≥0.4MPa

26.真空度:-0.07MPa~-0.09MPa

27.尺寸: 920mm(長)×680mm(寬)×1600mm(高);

28.重量:約180Kg



 


更多產品