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H94-35型(LED)4″雙面光刻機

更新:2017-1-9 15:25:49      点击:
  • 品牌:   SVC
  • 型號:   H94-35型
  • 市場價:    元
  • 優惠價:    元 (已有 1 人購買)
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產品介紹
 
主要用途:
   主要用於中小規模集成電路、半導體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路的研製和生產。

工作方式:
   本機採用版—版對準雙面同時曝光方式,亦可用於單面曝光。

主要構成:
   主要由高精度對準工作臺、Z軸升降機構、雙視場CCD顯微顯示系統)、二臺多點光源蠅眼式曝光頭、真空管路系統、氣路系統、直聯式真空泵、防震工作臺等組成。

 

CCD顯微系統|X、Y、Q對準工作臺|Z軸升降機構


主要功能特點 

1.曝光類型:單面對準雙面一次曝光;

2.曝光面積:110×110mm

3.曝光照度不均勻性:3%

4.曝光強度:≥40mw/cm2可調;

5.紫外光束角:≤3˚

6.紫外光中心波長:365nm404nm435nm可選:

7.紫外光源壽命:≥2萬小時;

8.曝光分辨率:1.5μm

9.曝光模式:雙面同時曝光;

10.對準精度:對準精度6μm

11對準範圍:X:±5mm   Y:±5mm

12.旋轉範圍:Q向旋轉調節≥±5°;

13.最大升降:≥16mm

14.密着曝光方式:密着曝光可實現硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光;

15.顯微系統:雙視場CCD系統,顯微鏡45X300X連續變倍,顯微鏡掃描範圍:X:±40mmY:±35mm;雙物鏡距離可調範圍:11mm100mm,計算機圖像處理系統,19″液晶監視器;

16.掩模版尺寸:3″×3″、4″×4″、5″×5″;

17.基片尺寸:φ2″、φ3″、φ4″;

18.基片厚度:≤5 mm

19.曝光定時:0999.9秒可調;

20. 電源:單相AC220V  50HZ ,功耗≤1.5KW

21.潔淨壓縮空氣壓力:≥0.4MPa

22.真空度:-0.07MPa~-0.09MPa

23.尺寸: 985mm(長)×680mm(寬)×1800mm(高);

24.重量:約190Kg



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